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來源資料
機械月刊
32:7=372 民95.07
頁44-56
機械工程
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磨研機
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化學機械拋光製程技術
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題 名
化學機械拋光製程中拋光墊之壽命評估與修整
作 者
左培倫
;
黃哲浩
;
周聖尉
;
石正宜
;
書刊名
機械月刊
卷 期
32:7=372 民95.07
頁 次
頁44-56
專 輯
奈米機械專輯
分類號
446.895
關鍵詞
化學機械拋光
;
拋光墊
;
語 文
中文(Chinese)
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