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來源資料
機械工業
185 1998.08[民87.08]
頁158-164
機械工程
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其他機械
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題名
雙面拋光機之加工率特性分析
作者姓名(中文)
賴國智
;
林宏彝
;
書刊名
機械工業
卷期
185 1998.08[民87.08]
頁次
頁158-164
專輯
奈米工程暨微機電系統技術專輯
分類號
446.9
關鍵詞
雙面拋光機
;
化學機械拋光
;
語文
中文(Chinese)
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