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來源資料
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
4:1 1997.03[民86.03]
頁22-25
電機工程
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電燈廠
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題名
拋光液的化學性質在鋁合金化學機械拋光過程中所扮演的角色
作者姓名(中文)
蔡明蒔
;
書刊名
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
卷期
4:1 1997.03[民86.03]
頁次
頁22-25
分類號
448.57
關鍵詞
拋光液
;
化學性質
;
鋁合金化學機械拋光
;
Chemical mechanical pholishing
;
CMP
;
語文
中文(Chinese)
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