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機械工業
206 2000.05[民89.05]
頁131-145
電機工程
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電燈廠
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題名
化學機械拋光技術發展趨勢=
作者
黃志龍
;
左培倫
;
期刊
機械工業
出版日期
200005
卷期
206 2000.05[民89.05]
頁次
頁131-145
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
化學機械拋光
;
耗材
;
硬碟片
;
矽晶圓
;
CMP
;
Consumable
;
Hard disk
;
Silicon wafer
;
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