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來源資料
工業材料
110 1996.02[民85.02]
頁105-112
電機工程
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題名
積體電路(IC)用矽晶圓材料製造技術
作者姓名(中文)
薛銀陞
;
書刊名
工業材料
卷期
110 1996.02[民85.02]
頁次
頁105-112
分類號
448.57
關鍵詞
積體電路
;
矽晶圓
;
製造技術
;
IC
;
語文
中文(Chinese)
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