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來源資料
機械月刊
29:7=336 2003.07[民92.07]
頁78-90
機械工程
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磨研機
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題 名
銅被覆晶圓之化學機械拋光理論與實驗探討
作 者
蔡志成
;
劉大中
;
蔡明蒔
;
書刊名
機械月刊
卷 期
29:7=336 2003.07[民92.07]
頁 次
頁78-90
專 輯
切削加工與刀具專輯
分類號
446.895
關鍵詞
銅被覆晶圓
;
化學機械拋光
;
IC製程
;
CMP
;
語 文
中文(Chinese)
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