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來源資料
化工技術
7:12=81 1999.12[民88.12]
頁205-219
電機工程
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題名
低介電係數Low-k材料在IC製程上的應用
作者
邱正杰
;
書刊名
化工技術
卷期
7:12=81 1999.12[民88.12]
頁次
頁205-219
專輯
化工與半導體工業專輯
分類號
448.57
關鍵詞
低介電係數
;
Low-k材料
;
IC製程
;
語文
中文(Chinese)
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