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來源資料
電子月刊
8:3=80 2002.03[民91.03]
頁150-155
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題 名
Green Technology--臭氧水技術在深次微米IC製程之應用
作 者
金光祖
;
陳秋美
;
蔡幸芬
;
書刊名
電子月刊
卷 期
8:3=80 2002.03[民91.03]
頁 次
頁150-155
專 輯
半導體製程設備專輯
分類號
448.552
關鍵詞
臭氧水技術
;
深次微米
;
IC製程
;
語 文
中文(Chinese)
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