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來源資料
電子月刊
5:12=53 1999.12[民88.12]
頁100-105
電機工程
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電燈廠
相關文獻
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匯出書目
題 名
銅製程及低介電係數材料技術
作 者
劉富臺
;
書刊名
電子月刊
卷 期
5:12=53 1999.12[民88.12]
頁 次
頁100-105
專 輯
積體電路技術專輯
分類號
448.57
關鍵詞
低介電係數材料
;
銅製程技術
;
語 文
中文(Chinese)
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