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來源資料
機械月刊
39:9=458 2013.09[民102.09]
頁38-57
機械工程
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磨研機
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題名
超音波輔助鑽石修整器與高壓噴射修整CMP拋光墊技術研究
作者姓名(中文)
蔡明義
;
楊緯政
;
書刊名
機械月刊
卷期
39:9=458 2013.09[民102.09]
頁次
頁38-57
專輯
切削加工與刀具專輯
分類號
446.895
關鍵詞
化學機械拋光
;
拋光墊
;
鑽石修整器
;
語文
中文(Chinese)
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