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來源資料
清雲學報
26:2 民95.09
頁31-37
機械工程
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磨研機
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題 名
類鑽薄膜對鑽石修整器表面磨耗腐蝕之研究=Effect of Diamond-Like-Carbon Film on Wear-Corrosion of Diamond Conditioners
作 者
譚安宏
;
鄭穎駿
;
李正國
;
書刊名
清雲學報
卷 期
26:2 民95.09
頁 次
頁31-37
分類號
446.895
關鍵詞
磨耗
;
腐蝕
;
化學機械拋光
;
鑽石修整器
;
Wear
;
Corrosion
;
CMP
;
Diamond conditioner
;
語 文
中文(Chinese)
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