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| 題 名 | 鑽石碟修整器--化學機械平坦化(CMP)的催生者 |
|---|---|
| 作 者 | 宋健民; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 218 2001.05[民90.05] |
| 頁 次 | 頁134-145 |
| 專 輯 | 輪磨與切削技術專輯 |
| 分類號 | 448.57 |
| 關鍵詞 | 化學機械平坦化; 鑽石碟; 拋光墊修整; Chemical mechanical planavization; Diamond disk; Pad dressing; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |