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來源資料
機械工業
218 2001.05[民90.05]
頁134-145
電機工程
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電燈廠
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題名
鑽石碟修整器--化學機械平坦化(CMP)的催生者=
作者
宋健民
;
期刊
機械工業
出版日期
200105
卷期
218 2001.05[民90.05]
頁次
頁134-145
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
化學機械平坦化
;
鑽石碟
;
拋光墊修整
;
Chemical mechanical planavization
;
Diamond disk
;
Pad dressing
;
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