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題名 | 鑽石碟修整器--化學機械平坦化(CMP)的催生者 |
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作者姓名(中文) | 宋健民; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 218 2001.05[民90.05] |
頁次 | 頁134-145 |
專輯 | 輪磨與切削技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 化學機械平坦化; 鑽石碟; 拋光墊修整; Chemical mechanical planavization; Diamond disk; Pad dressing; |
語文 | 中文(Chinese) |