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來源資料
機械工業
330 2010.09[民99.09]
頁78-90
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題名
低應力快速拋光450mm晶圓
作者姓名(中文)
宋健民
;
書刊名
機械工業
卷期
330 2010.09[民99.09]
頁次
頁78-90
分類號
448.552
關鍵詞
半導體
;
集成電路
;
化學機械平坦化
;
鑽石碟
;
精密拋光
;
450mm晶圓
;
22nm製程
;
語文
中文(Chinese)
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