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來源資料
粉末冶金會刊
26:3 2001.08[民90.08]
頁118-128
電機工程
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電燈廠
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題 名
鑽石碟修整器:化學機械平坦化(CMP)的催生者
作 者
宋建民
;
書刊名
粉末冶金會刊
卷 期
26:3 2001.08[民90.08]
頁 次
頁118-128
分類號
448.57
關鍵詞
鑽石碟修整器
;
化學機械平坦化
;
CMP
;
語 文
中文(Chinese)
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