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來源資料
化工技術
2:7=16 1994.07[民83.07]
頁140-147
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題 名
電漿輔助化學氣相沈積之低溫矽磊晶成長
作 者
謝明燈
;
李嘉平
;
游萃蓉
;
書刊名
化工技術
卷 期
2:7=16 1994.07[民83.07]
頁 次
頁140-147
專 輯
電子材料製程專輯
分類號
448.552
關鍵詞
化學氣相
;
成長
;
低溫
;
沈積
;
矽磊晶
;
電漿
;
輔助
;
語 文
中文(Chinese)
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