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題 名 | 兩階段成長對微波電漿輔助化學氣相沉積所合成多晶鑽石性質之影響=Effects of Two-stage Growth on the Polycrystalline Diamond Synthesized by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition |
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作 者 | 李世鴻; 葉忠信; | 書刊名 | 建國科大學報 |
卷 期 | 28:3 2009.04[民98.04] |
頁 次 | 頁19-31 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 微波電漿輔助化學氣相沉積; 多晶鑽石; 兩階段成長; MPECVD; Microwave plasma enhanced chemical vapor deposition; Polycrystalline diamond; Two-stage growth; |
語 文 | 中文(Chinese) |