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題 名 | 熱燈絲化學氣相沈積法技術簡介=The Introduction of Hot-Wire Chemical Vapor Deposition |
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作 者 | 王慶鈞; 王瑞豪; 毛信元; 武東星; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 314 2009.05[民98.05] |
頁 次 | 頁58-64 |
專 輯 | 太陽光電製程設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 低溫多晶矽; 熱燈絲化學氣相沉積; 電漿輔助化學氣相沉積; 薄膜太陽電池; Low temperature poly silicon; Hot-wire chemical vapor deposition; Plasma enhanced chemical vapor deposition; Thin film solar cell; |
語 文 | 中文(Chinese) |