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來源資料
電子月刊
16:3=176 2010.03[民99.03]
頁104-113
電機工程
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太陽能發電
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題 名
新型感應耦合電漿輔助熱燈絲化學氣相沉積系統開發矽薄膜太陽能電池
作 者
薛丁仁
;
蔡綜穎
;
葉祐名
;
戴寶通
;
書刊名
電子月刊
卷 期
16:3=176 2010.03[民99.03]
頁 次
頁104-113
專 輯
半導體與光電製程設備專輯
分類號
448.167
關鍵詞
薄膜太陽電池
;
熱燈絲化學氣相沉積
;
感應式耦合電漿化學氣相沉積
;
感應耦合電漿輔助熱燈絲化學氣相沉積
;
語 文
中文(Chinese)
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