頁籤選單縮合
題 名 | 電漿技術應用於矽晶太陽能電池製程之簡介 |
---|---|
作 者 | 劉建惟; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 13:3=140 2007.03[民96.03] |
頁 次 | 頁173-180 |
專 輯 | 半導體製程設備專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 太陽能電池; 電漿技術; 電漿輔助化學氣相沈積; 物理氣相沈積; Solar cell; Plasma technology; PECVD; PVD; |
語 文 | 中文(Chinese) |