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題名 | 太陽電池製程電漿設備研究與專利分析=Key Plasma Equipments of Photovoltaic Production--Patent Analysis |
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作者 | 鄭欽峰; 董福慶; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 280 民95.07 |
頁次 | 頁81-97 |
分類號 | 468.1 |
關鍵詞 | 太陽電池; 電漿設備; 電漿輔助化學氣相沈積; Solar cell; Plasma equipment; PECVD; |
語文 | 中文(Chinese) |