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來源資料
機械工業
222 2001.09[民90.09]
頁198-205
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題名
電漿輔助化學氣相沈積系統淺論
作者
郭侃誠
;
書刊名
機械工業
卷期
222 2001.09[民90.09]
頁次
頁198-205
專輯
半導體設備技術專輯
分類號
448.552
關鍵詞
低溫複晶矽
;
電漿輔助化學氣相沈積
;
薄膜電晶體
;
液晶顯示器
;
LTPS
;
PECVD
;
TFT
;
LCD
;
語文
中文(Chinese)
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