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題 名 | 薄膜電晶體液晶顯示器三層金屬蝕刻製程之探討 |
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作 者 | 黃中皇; 陳佳榆; 林世平; 蔡東璋; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 10:3=104 2004.03[民93.03] |
頁 次 | 頁143-150 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 薄膜電晶體; 液晶顯示器; 三層; 完全性蝕刻; 低溫複晶矽; Low temperature poly silicon; LTPS; Thin film transistor; TFT; Liquid crystal display; LCD; Tri-layer; Fully dry etching; |
語 文 | 中文(Chinese) |