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| 題 名 | 低溫複晶矽薄膜電晶體液晶顯示器技術 |
|---|---|
| 作 者 | 陳熊光; 陸一民; 王文通; | 書刊名 | 光訊 |
| 卷 期 | 86 2000.10[民89.10] |
| 頁 次 | 頁25-28 |
| 分類號 | 448.5 |
| 關鍵詞 | 液晶顯示器; 低溫複晶矽薄膜電晶體; Low temperature poly-si thin film transistors; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |
| 中文摘要 | 本文將針對低溫複晶矽薄膜電晶體(Low Temp. TFT)的產品特性進行介紹,說明低 溫複晶矽技術和非晶矽薄膜電晶體在元件特性上的差異,除此之外也介紹低溫多晶矽的各項 特殊製程,並指出低溫多晶矽技術中各項亟待克服的關鍵製程,以及在未來市場中的展望。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。