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來源資料
化工技術
21:12=249 2013.12[民102.12]
頁106-114
工程學總論
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匯出書目
題 名
以電漿技術製備超硬薄膜及其應用
作 者
黃世明
;
張雄智
;
黃傑
;
書刊名
化工技術
卷 期
21:12=249 2013.12[民102.12]
頁 次
頁106-114
專 輯
電漿技術
分類號
440.34
關鍵詞
電漿
;
真空
;
鍍膜
;
化學氣相沉積
;
物理氣相沉積
;
Plasma
;
Vacuum
;
Film coating
;
Chemical vapor deposition
;
CVD
;
Physical vapor deposition
;
PVD
;
語 文
中文(Chinese)
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