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題 名 | 太陽電池真空鍍膜製程設備之基板傳輸移載技術=Substrate Transfer Technology of Solar Cell Process Equipment |
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作 者 | 陳冠州; | 書刊名 | 機械工程 |
卷 期 | 277 2011.06[民100.06] |
頁 次 | 頁42-56 |
分類號 | 468.1 |
關鍵詞 | 基板傳輸; 物理氣相沉積; 電漿輔助化學氣相沉積; Substrate transfer; PVD; PECVD; |
語 文 | 中文(Chinese) |