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來源資料
工業材料
193 2003.01[民92.01]
頁171-174
電機工程
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電燈之特殊應用
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題 名
光柵在氮化矽薄膜上的應用
作 者
張育誠
;
柯育甫
;
李鼎昌
;
李建階
;
張正陽
;
紀國鐘
;
書刊名
工業材料
卷 期
193 2003.01[民92.01]
頁 次
頁171-174
分類號
448.59
關鍵詞
電漿輔助化學氣相沉積
;
氮化矽
;
薄膜
;
濕式蝕刻
;
光柵
;
PECVD
;
SiN[febb]
;
Membrane
;
Wet etching
;
Grating
;
語 文
中文(Chinese)
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推文
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