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題 名 | 薄膜太陽能電池量產技術及設備發展=The Development of Thin Film Solar Cell Manufacturing Technologies and Equipments |
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作 者 | 郭明村; | 書刊名 | 機械工程 |
卷 期 | 272 2010.03[民99.03] |
頁 次 | 頁61-68 |
分類號 | 448.167 |
關鍵詞 | 薄膜太陽能電池; 電漿輔助化學氣相沉積; Thin-film solar cell; PECVD; |
語 文 | 中文(Chinese) |