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題名 | 微型光學讀取頭之元件=Optical Element on SiN Membrane for Micro Optical Pickup Head |
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作者姓名(中文) | 張育誠; 張正陽; | 書刊名 | 光學工程 |
卷期 | 85 2004.03[民93.03] |
頁次 | 頁59-65 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 微光機電; 全像光學元件; 費涅爾透境; 低應力氮化矽薄膜; Optical MEMS; Hologram optical element; Fresnel lens; Low stress SiN membrane; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 此微光學讀取頭是使用了微光機電(Optical MEMS)的技術所設計與製造而成的。微光學元件包含了光柵、全像光學元件和費涅爾透境,都是由低應力氮化矽薄膜所製成的,而也已經設計在矽基板的堆疊結構上。它的優點包含高的穿透率、重量輕和易於組裝。 |
英文摘要 | A micro optical pickup head is designed and fabricated, using the Optical MEMS technology. Its optical components, such as grating, hologram optical element (HOE) and Fresnel lens, are made on the low stress SiN membrane, has been designed on stacked Si substrates. Its advantages include the high transmission, light weight, and easy packaging. |
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