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來源資料
科儀新知
24:4=132 2003.02[民92.02]
頁42-53
電機工程
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電燈廠
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題名
微光機電系統致動器=Introduction of Optical MEMS Actuators
作者姓名(中文)
洪世運
;
劉醇鎧
;
李正國
;
黃瑞星
;
林敏雄
;
書刊名
科儀新知
卷期
24:4=132 2003.02[民92.02]
頁次
頁42-53
專輯
微致動器與微感測器專題
分類號
448.57
關鍵詞
微光機電系統
;
微致動器
;
驅動機制
;
Micro-opto-electro-mechanical-systems
;
MOEMS
;
optical MEMS
;
語文
中文(Chinese)
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