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題 名 | 三層多晶矽電熱式微致動器及微滑桿致動系統之製作、分析與研究 |
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作 者 | 邱俊誠; 余志誠; 林育成; 陳世洲; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 185 1998.08[民87.08] |
頁 次 | 頁128-137 |
專 輯 | 奈米工程暨微機電系統技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 三層多晶矽; 電熱式微致動器; 微滑桿致動系統; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本篇論文是以研製三層多晶矽為主之電熱式微致動器,並應用此微致動器陣列及 電容式微感測器設計完成一微滑桿致動系統,首先簡單的介紹我們所採用的三層多晶矽表 面微機械製程(Three-layer Polysilicon Surface Micromachined Process)。然後我們利 用微機電製程模擬軟體IntelliCAD來進行製程的模擬及建立整個元件的基礎模型,並以有 限元素分析軟體ANSYS模擬電熱式微致動器之暫態特性及動態行為,且在三層多晶矽製程方 法之架構下,設計一微滑桿致動系統,並針此致動系統之驅動與感測原理加以分析探討, 以了解其動作情形與進行控制的可能性,最後並設計一PC-based的閉迴路控制電路I/O介面 卡,包括輸出入介面電路、感測電路等,期能達到精確位置控制的目的。 |
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