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來源資料
勤益學報
21:2 2003.12[民92.12]
頁303-323
電機工程
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電燈廠
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題 名
Characterization of an Electro-thermal Microactuator with Multiin-plane Lateral Motion=可多方式水平橫向運動之電熱式微致動器的特性研究
作 者
潘吉祥
;
陳義坤
;
書刊名
勤益學報
卷 期
21:2 2003.12[民92.12]
頁 次
頁303-323
分類號
448.57
關鍵詞
電熱式微致動器
;
語 文
英文(English)
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推文
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