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題名 | 掃描探針微影術在奈米科技上之應用= |
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作者 | 果尚志; |
期刊 | 工業材料 |
出版日期 | 200105 |
卷期 | 173 2001.05[民90.05] |
頁次 | 頁111-125 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 掃描探針微影術; 奈米科技; 氮化矽薄膜; 化學氣相沈積; Scanning-probe lithography; SPL; Nano technology; Si[feb0]N[feb2]Mask; CVD; |