查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
題名 | 掃描探針微影術在奈米科技上之應用 |
---|---|
作者 | 果尚志; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 173 2001.05[民90.05] |
頁次 | 頁111-125 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 掃描探針微影術; 奈米科技; 氮化矽薄膜; 化學氣相沈積; Scanning-probe lithography; SPL; Nano technology; Si[feb0]N[feb2]Mask; CVD; |
語文 | 中文(Chinese) |