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題 名 | 太陽能電池電漿鍍膜設備關鍵模組技術簡介=Study of Key Module Technology for Plasma Deposition Equipment in Photovoltaic Cells |
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作 者 | 葉羿辰; 梁沐旺; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 302 2008.05[民97.05] |
頁 次 | 頁23-40 |
專 輯 | 太陽光電製程投備技術專輯 |
分類號 | 448.167 |
關鍵詞 | 太陽電池; 電漿; 真空; 電漿輔助化學氣相沉積; 物理氣相沉積; 抗反射; Solar cell; Plasma; Vacuum; PECVD; PVD; Anti-reflection; |
語 文 | 中文(Chinese) |