您的瀏覽器不支援或未開啟JavaScript功能,將無法正常使用本系統,請開啟瀏覽器JavaScript功能,以利系統順利執行。
返回
/NclService/
快速連結
跳到主要內容
:::
首頁
關於本站
網站導覽
聯絡我們
國家圖書館
English
開啟查詢結果分析
查詢資訊
期刊論文索引(找篇目)
指令檢索
期刊指南(找期刊)
近代 (1853-1979年) 港澳華文期刊索引
漢學中心典藏大陸期刊論文索引
中國文化研究論文目錄
期刊瀏覽
檢索歷程
期刊授權
出版機構
公佈欄
常見問題
軟體工具下載
:::
首頁
>
查詢資訊
>
期刊論文索引查詢
>
詳目列表
查詢結果分析
來源資料
真空科技
21:1/2 2008.06[民97.06]
頁16-21
機械工程
>
壓力機械;液壓機械;油壓機械
相關文獻
國產乾式真空幫浦使用於電漿輔助化學氣相沉積機臺真空性能評估
螺旋型乾式真空幫浦雛型機之設計開發
魯式乾式真空幫浦之熱流性質模擬分析
Poly Cold Chiller於金屬濺鍍機真空性能之改善
半導體乾式幫浦轉子之設計與製造整合
光柵在氮化矽薄膜上的應用
以電漿輔助化學氣相沉積法探討氮氧化矽薄膜之特性
類鑽碳薄膜散熱的應用與分析
橡膠和塑膠膠管及膠管組合件耐真空性能的測定
國內太陽光電設備產業現況與挑戰
頁籤選單縮合
基本資料
引用格式
國圖館藏目錄
全國期刊聯合目錄
勘誤回報
我要授權
匯出書目
題 名
國產乾式真空幫浦使用於電漿輔助化學氣相沉積機臺真空性能評估
作 者
張慎周
;
蔣旭堂
;
劉建惟
;
薛漢鼎
;
李鎮緯
;
書刊名
真空科技
卷 期
21:1/2 2008.06[民97.06]
頁 次
頁16-21
分類號
446.74
關鍵詞
乾式真空幫浦
;
電漿輔助化學氣相沉積
;
真空性能
;
語 文
中文(Chinese)
頁籤選單縮合
推文
引用網址
引用嵌入語法
Line
FB
Google bookmarks
本文的引用網址:
複製引用網址
本文的引用網址:
複製引用網址