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題名 | 透明導電膜製程設備之整合電控技術=The Integration of Electric Control Technology for TCO Process Equipment |
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作者姓名(中文) | 葉羿辰; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 363 2013.06[民102.06] |
頁次 | 頁92-111 |
專輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 透明導電膜; 低壓化學氣相沉積; 常壓化學氣相沉積; 物理氣相沉積; 電漿表面改質; Transparent conductive oxide; TCO; Low pressure chemical vapor deposition; LPCVD; Atmospheric pressure chemical vapor deposition; APCVD; Physical vapor Deposition; PVD; Plasma for surface modification; |
語文 | 中文(Chinese) |