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| 題 名 | 透明導電膜製程設備之整合電控技術=The Integration of Electric Control Technology for TCO Process Equipment |
|---|---|
| 作 者 | 葉羿辰; | 書刊名 | 機械工程 |
| 卷 期 | 289 2014.06[民103.06] |
| 頁 次 | 頁59-78 |
| 分類號 | 468.1 |
| 關鍵詞 | 透明導電膜; 低壓化學氣相沉積; 常壓化學氣相沉積; 物理氣相沉積; 電漿表面改質; Transparent conductive oxide; TCO; Low pressure chemical vapor deposition; LPCVD; Atmospheric pressure chemical vapor deposition; APCVD; Physical vapor deposition; PVD; Plasma for surface modification; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |