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題名 | 透明導電氧化物應用於矽薄膜太陽電池前電極之技術發展(下)=The Technique Development of Front Contace TCO for Silicon Thin Film Solar Cell (2) |
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作者 | 吳建良; 楊宏仁; 黃建福; 葉峻銘; 陳頤承; Wu, C. L.; Yang, H. J.; Huang, C. F.; Yeh, C. M.; Chen, Y. C.; |
期刊 | 工業材料 |
出版日期 | 20100600 |
卷期 | 282 2010.06[民99.06] |
頁次 | 頁197-204 |
分類號 | 468.1 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 透明導電氧化物; 矽薄膜太陽電池; 常壓化學氣相沉積; 低壓化學氣相沉積; 濺鍍; Transparent contact oxide; TCO; Silicon thin film solar cell; Atmospheric chemical vapor deposition; APCVD; Low pressure chemical vapor deposition; LPCVD; Sputter; |