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| 題 名 | 透明導電氧化物應用於矽薄膜太陽電池前電極之技術發展(下)=The Technique Development of Front Contace TCO for Silicon Thin Film Solar Cell (2) |
|---|---|
| 作 者 | 吳建良; 楊宏仁; 黃建福; 葉峻銘; 陳頤承; | 書刊名 | 工業材料 |
| 卷 期 | 282 2010.06[民99.06] |
| 頁 次 | 頁197-204 |
| 專 輯 | 先進矽基太陽電池技術專題 |
| 分類號 | 468.1 |
| 關鍵詞 | 透明導電氧化物; 矽薄膜太陽電池; 常壓化學氣相沉積; 低壓化學氣相沉積; 濺鍍; Transparent contact oxide; TCO; Silicon thin film solar cell; Atmospheric chemical vapor deposition; APCVD; Low pressure chemical vapor deposition; LPCVD; Sputter; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |