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題 名 | 多孔式噴灑頭CVD腔體之流場可視化技術=Study of Showerhead CVD Reactor by Use of Flow Visualization Technology |
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作 者 | 賴冠甫; 劉耀先; 黃智勇; 王慶鈞; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 375 2014.06[民103.06] |
頁 次 | 頁103-112 |
專 輯 | 光電設備技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 化學氣相沉積; 粒子影像測速儀; 噴灑頭; Chemical vapor deposition; Particle image velocimetery; Showerhead; |
語 文 | 中文(Chinese) |