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題 名 | 低壓電漿顯影的流場可視化技術=Flow-field Visualization Technology for Low Pressure Plasma Discharge |
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作 者 | 陳冠州; 黃智勇; 林士欽; 謝明翰; 劉耀先; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 435 2019.06[民108.06] |
頁 次 | 頁47-53 |
專 輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 化學氣相沉積; 粒子影像測速儀; 流場可視化; Chemical vapor deposition; Particle image velocimetry; Flow visualization; |
語 文 | 中文(Chinese) |