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題 名 | 多孔式噴灑頭對於CVD反應室內之流場影響研究=Effect of Showerhead on the Flow Field Distribution in CVD Reactor |
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作 者 | 賴冠甫; 閻其偉; 劉耀先; 黃智勇; 陳冠州; 梁金興; 王慶鈞; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 363 2013.06[民102.06] |
頁 次 | 頁32-38 |
專 輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 化學氣相沉積; 流場可視化; 粒子影像測速儀; 噴灑頭; Chemical vapor deposition; Flow visualization; Particle image velocimetery; Shower head; |
語 文 | 中文(Chinese) |