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| 題 名 | 丙烯酸酯於前段光阻之應用=Application of Acrylates in Front-end Photoresist |
|---|---|
| 作 者 | 陳世言; | 書刊名 | 工業材料 |
| 卷 期 | 467 2025.11[民114.11] |
| 頁 次 | 頁74-79 |
| 專 輯 | 半導體前段製程材料技術專題 |
| 分類號 | 465.6 |
| 關鍵詞 | 丙烯酸酯; 光阻; 化學增幅型光阻; 極紫外光; 深紫外; 底部抗反射塗層; Acrylates; Photoresist; Chemically amplified resist; CAR; Extreme ultraviolet; EUV; Deep ultraviolet; DUV; Bottom anti-reflective coating; BARC; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |