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來源資料
電子月刊
20:3=224 2014.03[民103.03]
頁86-96
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題名
低溫微波退火應用於高介電薄膜/金屬閘極電晶體
作者姓名(中文)
蔡博安
;
陳政耀
;
賴瓊惠
;
羅志偉
;
李耀仁
;
書刊名
電子月刊
卷期
20:3=224 2014.03[民103.03]
頁次
頁86-96
專輯
半導體與光電製程設備專輯
分類號
448.552
關鍵詞
金屬閘極
;
氮化鉭
;
氮化鈦
;
微波退火
;
功函數
;
語文
中文(Chinese)
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