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來源資料
工業材料
177 2001.09[民90.09]
頁150-158
電機工程
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電燈廠
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匯出書目
題 名
銅製程之擴散阻障層材料的發展與挑戰
作 者
楊恆傑
;
鍾鴻欽
;
劉全璞
;
書刊名
工業材料
卷 期
177 2001.09[民90.09]
頁 次
頁150-158
分類號
448.57
關鍵詞
擴散阻障層
;
氮化鈦
;
鉭
;
氮化鉭
;
氮化鋯
;
Diffusion barrier
;
TiN
;
Ta
;
TaN
;
ZrN
;
語 文
中文(Chinese)
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