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題名 | 基板加熱對濺鍍TaN薄膜微結構及電性之影響=Effects of Substrate Temperature on the Electrical Properties and Microstructure of Sputtered TaN Films |
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作者姓名(中文) | 盧陽明; 翁睿哲; 黃文星; | 書刊名 | 材料科學與工程 |
卷期 | 35:1 2003.03[民92.03] |
頁次 | 頁1-4 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 基板溫度; 濺鍍; 氮化鉭; 微結構; 電性; Sputtering; TaN; Substrate temperature; Electrical properties; Microstructure; |
語文 | 中文(Chinese) |