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來源資料
奈米通訊
10:2 2003.05[民92.05]
頁25-29
電機工程
>
電燈;照明電器
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題 名
降溫化學氣相沈積疊層非晶質Ti/TiNx阻障層於銅金屬化製程的應用
作 者
歐耿良
;
吳文發
;
許倬綸
;
顏進偉
;
許瓊姿
;
書刊名
奈米通訊
卷 期
10:2 2003.05[民92.05]
頁 次
頁25-29
分類號
448.5
關鍵詞
鈦
;
氮化鈦
;
銅
;
擴散阻障層
;
化學氣相沈積
;
Titanium
;
Titanium nitride
;
Copper
;
Diffusion barrier
;
Chemical vapor deposition
;
語 文
中文(Chinese)
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