查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
題名 | 低溫多晶矽膜再結晶特性與晶粒尺寸之光學檢測系統研發=Rapid Optical Measurements on Recrystallization Characterization and Grain Size of Polycrystalline Silicon |
---|---|
作者姓名(中文) | 郭啟全; 趙金聖; | 書刊名 | 先進工程學刊 |
卷期 | 6:1 2011.01[民100.01] |
頁次 | 頁31-37 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 低溫多晶矽膜; 晶粒尺寸; 再結晶特性; 光學檢測系統; Low-temperature polycrystalline silicon; Grain size; Recrystallization characterization; Optical measurements; |
語文 | 中文(Chinese) |