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題名 | 非破壞性低溫多晶矽膜晶粒尺寸光學檢測技術研發=A Non-destructive Optical Diagnostic Technique for Measuring Grain Size of Polycrystalline Silicon Produced by Excimer Laser Crystallization |
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作者姓名(中文) | 郭啟全; 陳宏昱; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 276 2009.12[民98.12] |
頁次 | 頁164-173 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 低溫多晶矽膜; 晶粒尺寸; 光學檢測技術; 準分子雷射退火; Low-temperature polycrystalline silicon thin films; Grain size; Optical inspection technique; Excimer laser annealing; |
語文 | 中文(Chinese) |