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來源資料
機電整合
147 2010.11[民99.11]
頁68-77
電機工程
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電燈之特殊應用
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匯出書目
題 名
矽膜晶粒尺寸快速光學檢測技術
作 者
郭啟全
;
趙金聖
;
書刊名
機電整合
卷 期
147 2010.11[民99.11]
頁 次
頁68-77
專 輯
生醫應用之機電整合技術
分類號
448.59
關鍵詞
低溫多晶矽膜
;
晶粒尺寸
;
再結晶特性
;
光學檢測系統
;
準分子雷射退火
;
語 文
中文(Chinese)
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