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來源資料
電子月刊
14:12=161 2008.12[民97.12]
頁172-184
電機工程
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電燈廠
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題名
檢測光點尺寸對於矽膜再結晶特性影響之研究與分析
作 者
郭啟全
;
書刊名
電子月刊
卷期
14:12=161 2008.12[民97.12]
頁次
頁172-184
分類號
448.57
關鍵詞
檢測光點尺寸
;
矽膜再結晶特性
;
準分子雷射退火
;
語文
中文(Chinese)
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