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題名 | 超淺接面製程的低能量高束流離子佈植機技術 |
---|---|
作者 | 任克川; 陳恆綱; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 16:9=182 2010.09[民99.09] |
頁次 | 頁100-111 |
專輯 | IC製程技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 高束流離子佈植機; 超淺接面; 短通道效應; 能量污染; 末端缺陷; High current ion implanter; Ultra shallow junctions; Short channel effects; SCE; Energy contamination; End of range defects; |
語文 | 中文(Chinese) |